Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Zu dieser Bekanntmachung ist keine Angebotsfrist bekannt. Der Status wird bei jedem Aufruf aus der Angebotsfrist abgeleitet, nicht gespeichert.
Eckdaten
- Angebotsfrist
- Unbekannt — die Quelle macht dazu keine Angabe
- Auftraggeber
Ruhr-Universität Bochum
- Geschätzter Auftragswert
ab 1.024.000,00 EUR (geschätzt)
- Verfahrensart
Wettbewerblicher Dialog
Weitere Angaben
- Art des Auftraggebers
Öffentlicher Auftraggeber
- Veröffentlicht
- Vertragsbeginn
- Unbekannt — die Quelle macht dazu keine Angabe
- Vertragsende
- Unbekannt — die Quelle macht dazu keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
Nein
- Sprache der Bekanntmachung
de
Beschreibung
- Beschreibung der Leistung
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Einordnung
- CPV-Codes
- NUTS-Codes
- Nordrhein-Westfalen
- Erfüllungsort
- Bochum · DEA51 · DE
Lose
- Aufteilung in Lose
- Titel
Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
- Beschreibung
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
- CPV-Codes
- NUTS-Codes
- Nordrhein-Westfalen
- Geschätzter Wert
- Unbekannt — die Quelle macht dazu keine Angabe
Unterlagen der Quelle
Quelle
Diese Bekanntmachung stammt von TED — Tenders Electronic Daily. Kennung der Quelle: 562332-2026.
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